【導(dǎo)讀】安森美半導(dǎo)體與Teledyne Imaging Sensors合作，運(yùn)用先進(jìn)的CMOS工藝專知和技術(shù)制造出突破性的天文圖像傳感器，擁有63 mm x 63 mm接合點(diǎn)的CMOS讀取集成電路，以至一個200 mm晶圓僅能容納4個ROIC裸片。
推動高能效創(chuàng)新的安森美半導(dǎo)體(ON Semiconductor)與Teledyne Imaging Sensors合作，制造出用于天文研究的超大接合點(diǎn)讀取集成電路(ELS ROIC)。Teledyne設(shè)計(jì)的H4RG-15圖像傳感器是長達(dá)20年開發(fā)活動的最新一代成果，由美國國家科學(xué)基金會(NSF)、美國國家航空航天局(NASA)及Teledyne內(nèi)部撥款資助，旨在開發(fā)用于天文研究的更大更強(qiáng)紅外傳感器。
達(dá)1,600萬像素的H4RG-15包含Teledyne混合到CMOS讀取電路中的的碲鉻汞(HgCdTe)檢測器材料，是有史以來所制造用于紅外天文應(yīng)用的最大傳感器。開發(fā)H4RG-15的一項(xiàng)使能技術(shù)，是使用安森美半導(dǎo)體專有的180 nm工藝技術(shù)來制造及可靠地產(chǎn)出63 mm x 63 mm接合點(diǎn)的CMOS讀取集成電路(ROIC)。這ROIC尺寸如此之大，以至一個200 mm晶圓僅能容納4個ROIC裸片。
圖題：H4RG-15圖像傳感器
這些ELS ROIC的高良率可歸功于安森美半導(dǎo)體晶圓制造團(tuán)隊(duì)及公司定制晶圓代工分部的專知和技術(shù)及良率提升成果。HR4G-15讀取ROIC在安森美半導(dǎo)體美國俄勒岡州Gresham的晶圓制造廠制造。安森美半導(dǎo)體藉項(xiàng)目展現(xiàn)了公司能夠成功地生產(chǎn)良率符合下一代傳感器要求的H4RG-15圖像傳感器。
H4RG-15已經(jīng)安設(shè)在美國夏威夷大學(xué)的Mauna Kea觀測站，以確認(rèn)此傳感器在望遠(yuǎn)鏡觀測條件下的性能。擔(dān)任NSF資助的H4RG-15開發(fā)項(xiàng)目首席科學(xué)家之夏威夷大學(xué)天文學(xué)院Donald Hall博士說：“使用這新傳感器系統(tǒng)能夠捕獲的圖像的分辨率，可說是紅外天文觀測向前發(fā)展的重要一步。”
H4RG-15是Teledyne所開發(fā)的極成功的HxRG系列圖像傳感器的最新一代產(chǎn)品，用于領(lǐng)先的地面及太空天文觀測站，包括哈勃太空望遠(yuǎn)鏡、詹姆斯•韋伯太空望遠(yuǎn)鏡及各主要地面觀測站。
Teledyne的H4RG-15高級項(xiàng)目經(jīng)理Richard Blank說：“H4RG-15對下一代地面望遠(yuǎn)鏡至關(guān)重要。今后還將使用H4RG-15以設(shè)計(jì)30米級極大望遠(yuǎn)鏡(ELT)和將來的太空任務(wù)。”
Teledyne Imaging Sensors太空及天文副總裁James Beletic說：“我們極重視與安森美半導(dǎo)體的合作，這合作對H4RG-15的成功開發(fā)至關(guān)重要。”
安森美半導(dǎo)體定制晶圓代工分部業(yè)務(wù)部經(jīng)理Rocke Acree說：“H4RG-15 ROIC的成功有力地印證了我們公司的晶圓代工業(yè)務(wù)能力及CMOS成像工藝能力。為Teledyne Imaging Sensors生產(chǎn)的H4RG-15 ROIC是有史以來最大的CMOS芯片之一。安森美半導(dǎo)體為此項(xiàng)目采用的創(chuàng)新接合工藝，令我們能夠開發(fā)較小構(gòu)建模塊，以生產(chǎn)物理尺寸更大的傳感器。這項(xiàng)目彰顯了安森美半導(dǎo)體能夠?yàn)槭袌鎏峁┑募夹g(shù)能力的廣度和深度，能夠符合即使是最嚴(yán)格的應(yīng)用要求。”
