- 具備最高125℃的工作溫度
- 檢測方式為不易受到溫度影響的靜電容量式
- 采用可抑制元件在高溫下變形的結構
- 采用了以玻璃板密封可動部的封裝，引出電極時采用TSV（硅通孔）
- 檢測車輛狀況
日立汽車系統(tǒng)（Hitachi Automotive Systems）將在“第41屆東京車展2009”上展出該公司與日立制作所共同開發(fā)的3軸加速度傳感器。該公司計劃在車輛控制產(chǎn)品展區(qū)內(nèi)展出，通過現(xiàn)場演示，介紹該產(chǎn)品在檢測車輛狀況時所發(fā)揮的作用。
此次開發(fā)的3軸加速度傳感器能夠以一枚芯片（尺寸為3.4mm×8.3mm）檢測出3軸的加速度。這一功能是通過MEMS實現(xiàn)的。為了能在發(fā)動機艙內(nèi)使用，該產(chǎn)品具備最高125℃的工作溫度。檢測方式為不易受到溫度影響的靜電容量式，同時采用可抑制元件在高溫下變形的結構。另外，還采用了以玻璃板密封可動部的封裝，引出電極時采用TSV（硅通孔）。與原產(chǎn)品相比，用于引出電極的空間縮小到了1/10。
