【導讀】DAS公司通過在工藝腔室的沉積過程以及之后的清潔階段采用可靠的廢氣處理系統(tǒng)，確保當涉及太陽能模塊制造業(yè)在批量生產時，DAS設備的性能提升了600%，將平均維護間隔時間延長到6個月以上。
DAS Environmental Expert公司通過在工藝腔室的沉積過程以及之后的清潔階段采用可靠的廢氣處理系統(tǒng)，確保當涉及太陽能模塊制造業(yè)在批量生產時，生產設備維持長時間的正常運行并滿足最佳的沉積質量的需要。由于a-Si/μc-Si CVD生產設備使用大量的SiH4、H2、NF3和TMB、PH3作為摻雜氣體，但這些工藝氣體都是自燃、易爆或者危害環(huán)境的。因此，DAS堅持工藝廢氣必須通過燃燒濕法洗滌處理，并利用靜電除塵裝置進行粉塵清除。
DAS同樣為中國最大的薄膜太陽能ThinFab客戶提供以上的解決方案。Oerlikon (現稱TEL) KAI采用了DAS的UPTIMUM廢氣處理系統(tǒng)，該系統(tǒng)還可通過智能軟件控制管理提供設備之間的備份，同時添加了EDC (靜電除塵裝置) 系統(tǒng)來收集處理廢氣中出現粉塵。DAS對廢氣處理裝置的效率進行了超過1周的測量，結果表明其在去除效率 (DRE) 方面性能卓越。得益于強大密集的現場服務支持，使得DAS設備的性能提升了600%，將平均維護間隔時間延長到6個月以上。這再一次證明了DAS的廢氣處理系統(tǒng)可以順利匹配工藝生產設備的維護周期。
DAS在中國薄膜太陽能行業(yè)有著的杰出表現。這項項目運行期間，DAS一如既往的提供迅速的響應反映時間和強大的現場服務支持。 該客戶項目負責人說:“廢氣處理系統(tǒng)超長的正常運行時間和>99%的除塵效率，幫助我們達成了制造流程中的質量和安全目標。”
廢氣處理系統(tǒng)UPTIMUM采用了燃燒/濕洗技術，針對不同行業(yè)內的CVD工藝生產設備進行優(yōu)化，最多支持六個獨立進氣口。該系統(tǒng)可使用多種助燃氣體和提供處理酸堿的不同濕洗方法。
EDC PLUS是一款靜電除塵裝置，用于處理諸如太陽能電池或平板顯示器制造等行業(yè)產生的含有細小粉塵或氣霧的廢氣，處理量可達270 m3/h。除塵裝置可以顯著減少細小粉塵排放，其微粒去除效率甚至可達99.9%，能有效防止排氣系統(tǒng)堵塞。
