【導(dǎo)讀】針對應(yīng)用材料公司制造平臺的加載互鎖和輸送腔體應(yīng)用，供應(yīng)商Edwards集團(tuán)有限公司推出了全新集成式真空泵IPUP2。該第二代泵在加載互鎖抽真空時間、能耗和維護(hù)要求方面具有明顯優(yōu)勢，這些先進(jìn)性能結(jié)合起來為其帶來同類最佳的性能和擁有成本。
全新集成式真空泵IPUP2的先進(jìn)設(shè)計取得初步成功
針對應(yīng)用材料公司制造平臺的加載互鎖和輸送腔體應(yīng)用，供應(yīng)商Edwards集團(tuán)有限公司推出了全新集成式真空泵IPUP2。該第二代泵在加載互鎖抽真空時間、能耗和維護(hù)要求方面具有明顯優(yōu)勢，這些先進(jìn)性能結(jié)合起來為其帶來同類最佳的性能和擁有成本。由于在應(yīng)用材料公司的多類新設(shè)備平臺上取得了使用認(rèn)證，并已向主要半導(dǎo)體制造商提供超過180套系統(tǒng)，該泵的先進(jìn)設(shè)計已獲得初步成功。
Edwards公司銷售總經(jīng)理馬克?格林（Mark Greene）評論說：“我們非常努力地工作，達(dá)到并超越應(yīng)用材料公司對新一代泵的要求。IPUP2先進(jìn)的設(shè)計減少抽真空時間50%左右，能耗節(jié)約70%，在大修間隔期免維護(hù)。很多半導(dǎo)體制造廠商，甚至那些與我們競爭對手長期合作的制造廠商， 很快通過這些訂單認(rèn)識到了IPUP2的抽氣能力和擁有成本優(yōu)勢。“
真空泵IPUP2的優(yōu)點(diǎn)
IPUP2是為滿足應(yīng)用材料公司的加載互鎖和輸送腔體抽真空規(guī)格而設(shè)計。IPUP2采用的精密軸承確保運(yùn)行平穩(wěn)、低震動，機(jī)油潤滑的軸承和定時齒輪使得大修之間無需常規(guī)維護(hù)。該泵抽氣速率和功率曲線得到了優(yōu)化，以增加機(jī)臺產(chǎn)出能力，最大抽速可達(dá)180 m3/h，與第一代相比快89%，抽真空時間縮短54%，同時能耗節(jié)約70% （使用“綠色模式”還可進(jìn)一步節(jié)能）。IPUP2包括水平和垂直進(jìn)氣口，其尺寸和配置能夠與前一代泵直接互換。在測試中該泵得分很高，平均故障間隔（Semi E10標(biāo)準(zhǔn)的MTBF)為5年，可實現(xiàn)超過300萬次加載互鎖工作循環(huán)。現(xiàn)在IPUP2可見于應(yīng)用材料公司的機(jī)臺或直接由Edwards獲取。
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