如何發(fā)展國產(chǎn)的太陽能和LED生產(chǎn)設(shè)備，降低生產(chǎn)成本，是關(guān)乎中國綠色節(jié)能產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展的重大命題。目前國產(chǎn)太陽能光伏設(shè)備在國內(nèi)用戶中已建立起良好的信譽，得到業(yè)界的廣泛認可，越來越多的客戶從國產(chǎn)設(shè)備使用中受益。中國光伏設(shè)備企業(yè)已基本具備太陽能電池制造整線裝備能力，部分產(chǎn)品如擴散爐、等離子刻蝕機等開始少量出口，擴散爐、等離子刻蝕機、清洗/制絨機、石英管清洗機、低溫烘干爐)已在國內(nèi)生產(chǎn)線占據(jù)主導地位，管式PECVD、快速燒結(jié)爐和進口設(shè)備并存但份額在逐步增大，全自動絲網(wǎng)印刷機、自動分撿機、平板式PECVD則基本依賴進口。
即將參展第76屆中國電子展暨亞洲電子展（上海）的青島華旗科技有限公司就是一家專業(yè)的半導體工藝設(shè)備及先進材料專用設(shè)備研發(fā)、制造廠家，致力于為半導體集成電路分立器件、太陽能電池、半導體照明LED及磁性材料廠家提供先進的專用設(shè)備,工藝涵蓋化合物半導體晶體生長、外延、薄膜淀積（氮化硅、氧化硅、多晶硅等）、氧化擴散退火（含快速退火工藝）合金、真空燒結(jié)等工藝。該公司最新推出的JDF200-3FS太陽能電池擴散爐可供太陽能電池片生產(chǎn)線上125mm×125mm 、156mm×156mm方片擴散、氧化、退火等工藝使用，主要特點和優(yōu)勢如下：
◆工業(yè)計算機控制系統(tǒng)，對爐溫、進退舟、氣體流量、閘門等動作進行自動控制；
◆閉管式擴散系統(tǒng)，有效降低生產(chǎn)成本，更潔凈，更環(huán)保；
◆石英舟采用軟著陸送片，高可靠性；
◆工藝有毒害尾氣定向收集、集中處理排放，更加安全環(huán)保；
◆具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置；
◆具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能；
◆控溫精度好，溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好；
◆關(guān)鍵件全部采用進口件，系統(tǒng)可靠性高，抗干擾性能強。
另一家參展商青島賽瑞達設(shè)備制造有限公司也將展示低壓化學氣相淀積設(shè)備、等離子增強化學氣相淀積設(shè)備和SRD-VGF單晶爐設(shè)備。其LPCVD用于淀積薄膜Poly-Si、Si3N4、SiO2、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅及難熔金屬硅化物等多種薄膜。主要特性和優(yōu)勢如下：
◆ 對工藝時間、溫度、氣體流量、閥門動作、反應室壓力實現(xiàn)自動控制；
◆ 采用進口壓力控制系統(tǒng)，閉環(huán)控制，穩(wěn)定性強；
◆ 采用進口耐腐蝕不銹鋼管件、閥門，確保氣路氣密性；
◆ 具有完善的報警功能及安全互鎖裝置；
◆ 具有良好的人機界面，靈活的工藝性能。
在LED照明方面，中國的大功率特性襯底技術(shù)、加工穩(wěn)定性以及對外延效率的提升率與國外相比，差距逐漸縮小，但是上游生產(chǎn)性外延設(shè)備一直主要依賴進口昂貴的國外產(chǎn)品。MOCVD等關(guān)鍵設(shè)備對LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有舉足輕重的作用，有識之士都呼吁中國相關(guān)部門要集中人才和資源進行重點開發(fā)，解決制造設(shè)備中的關(guān)鍵技術(shù)，掌握具有自主產(chǎn)權(quán)的核心技術(shù)，并盡早實現(xiàn)LED生產(chǎn)設(shè)備國產(chǎn)化量產(chǎn)。只有這樣才會加快推動LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展，降低LED相關(guān)產(chǎn)品的成本，實現(xiàn)健康、迅速地發(fā)展。
可喜的是，即將在第76屆中國電子展亮相的國產(chǎn)LED生產(chǎn)設(shè)備為人們點燃了希望，以青島華旗科技和青島賽瑞達為代表的一批中國設(shè)備制造商在關(guān)注太陽能電池市場的同時，正把目光投向LED、LCD、電力電子器件等市場應用領(lǐng)域，并保持住價格優(yōu)勢，在新一輪的競爭中爭取更大的市場空間。他們或?qū)⒊蔀楦淖冎袊酥潦澜鏛ED生產(chǎn)設(shè)備市場格局的重要力量。
圖2就是青島華旗科技的一款適用于化合物半導體-LED/半導體照明等科研領(lǐng)域的外延及晶體生長MOCVD系統(tǒng)。該系統(tǒng)由生長室、氣源、氣體控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、整機的計算機控制系統(tǒng)等組成，系統(tǒng)各工藝參數(shù)均可由計算機自動控制（WINDOW 界面）。該產(chǎn)品可滿足2"多片晶圓，支持GaN/GaAs等薄膜工藝、采用電阻加熱/感應加熱的結(jié)構(gòu)形式，生產(chǎn)能力為2英寸1、3、6片。另外，該公司還承擔了部分國家863項目（如半導體白光照明GaN生長的HVPE設(shè)備等）。
賽瑞達公司除了一系列太陽能專用設(shè)備之外，也開發(fā)了幾款LED生產(chǎn)設(shè)備，包括LED專用擴散爐和專用合金爐。其LED專用擴散爐和專用合金爐關(guān)鍵件全部采用進口件，具有高可靠性和高抗干擾能力，具有可編程的升、降溫功能，以及有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能?？纱鎯艞l工藝曲線，每條工藝曲線最多有九步，曲線間可以任意鏈接、重復。另外還具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置。賽瑞達可為客戶提供斜滾式推拉舟系統(tǒng)，石英雙桿推拉舟系統(tǒng)及SiC漿推拉舟系統(tǒng)的靈活選擇。
上游設(shè)備的成功本土化離不開下游外延芯片廠、LED封裝廠、模塊乃至燈具供應商、后端設(shè)備商的配合與支持。據(jù)悉，本屆秋季中國電子展，匯集了真明麗、深圳市穩(wěn)亮電子、李洲科技、寧波升譜電子、常州愛立德電子、臺灣億光電子、金臺電子等眾多大中小型LED企業(yè)，以及田中精機、昆山具良、日特機械工程、華勝科技、上海富榮電子等一大批后端生產(chǎn)設(shè)備商，并專門開辟了LED照明展區(qū)，為產(chǎn)業(yè)上下游的互動提供了良好的互動平臺，有利于促成他們之間的合作。當然，就像有些專家指出的，MOCVD等關(guān)鍵裝備的國產(chǎn)化也是一件體現(xiàn)國家意志的事情，建議國家大力地投入，全面地支持去做這件事，特別要注意工藝與設(shè)備的結(jié)合，要鼓勵外延芯片廠商應用國產(chǎn)設(shè)備，同時要給予一定的資助。
