- 傳感器元件采用PSM-X2微機(jī)電系統(tǒng)工藝制造
- 采用雙腔技術(shù)制造
- 可作為獨(dú)立元件使用
- 也可與三軸加速計(jì)進(jìn)行整合
微型和無線半導(dǎo)體產(chǎn)品制造商和供應(yīng)商SensorDynamics今天宣布推出雙軸和三軸陀螺儀。獲得專利的傳感器元件采用公認(rèn)的PSM-X2微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）工藝制造。自2010年1月起，該工藝可用于8英寸晶圓。這些陀螺儀可作為獨(dú)立元件使用，也可以與三軸加速計(jì)進(jìn)行整合，在價(jià)格、可靠性和微型化方面都開創(chuàng)了廣闊的前景。
SensorDynamics將于2010年5月開始供應(yīng)雙軸和三軸MEMS陀螺儀，作為獨(dú)立產(chǎn)品用于工業(yè)、自動(dòng)化工程、醫(yī)學(xué)、導(dǎo)航以及高端消費(fèi)領(lǐng)域的應(yīng)用?，F(xiàn)已計(jì)劃開發(fā)一種經(jīng)AEC-Q100認(rèn)證的汽車用陀螺儀，運(yùn)行溫度范圍為-40°C至+125°C。
新型三軸陀螺儀采用SensorDynamics獲得專利的雙腔技術(shù)制造，接下來即將與三軸加速計(jì)進(jìn)行整合，在數(shù)平方毫米的芯片上創(chuàng)造一種六自由度的全面慣性測(cè)量裝置(6DoF IMU)。面向消費(fèi)領(lǐng)域的適當(dāng)產(chǎn)品預(yù)計(jì)將于未來三個(gè)月內(nèi)面市。
這些多軸陀螺儀已經(jīng)為批量生產(chǎn)做好了準(zhǔn)備，其特征與SD75x、SD70x和SD77x/78x系列單軸產(chǎn)品的特征相同，不過相比之下，更高密度的整合意味著重要的成本優(yōu)勢(shì)。
